システム概要

生命維持システムとしてのGMSシステムの核心的価値は以下の点にある。

ガス供給設備の状態をリアルタイムで監視し、自動警報と連動制御を行うことで、特殊ガス供給の安全性と安定性を確保し、半導体製造環境の安全性と製造プロセスの継続的かつ効率的な稼働を保証する。

利点

PLCプログラムは、実績のあるアルゴリズムを採用しています。一度導入すれば、検出器（GC、VMB）を追加する際にPLCプログラムを再度ダウンロードする必要がないため、頻繁なプログラム更新（電源装置の誤作動によるシャットダウンなど）によって発生するエラーを軽減できます。

PLCプログラムは一度に5000個の検出器に書き込むことができ、1000個のGCユニットと2000個のVMBユニットをサポートします。

機能テストは、本番稼働前にシミュレーションで実施できます。

住宅所有者が検出器プログラムを簡単に追加する方法を案内できます。

使用されるツールには、PLCプログラミングソフトウェア、製図ソフトウェア、およびBIMが含まれます。

デザイン事例研究