システム概要

生命維持システムとして、GMSシステムの本質的な価値

ガス供給設備の状態をリアルタイムで監視し、自動警報装置や制御機器と連携することで、特殊ガス供給の安全性・安定性を確保します。これにより、半導体製造環境の安全性や、生産工程の継続的かつ効率的な運用が確保されます。

強み

PLCプログラムは実績のあるアルゴリズムを採用しています。一度導入すれば、検出器(GC,VMB)を追加するたびに、PLCプログラムを再度ダウンロードする必要はありません。

そのため、プログラムの頻繁なアップデートによる不具合（電源の不意のシャットダウンなど）が削減できます。

PLCプログラムは、一度に検出器 5000個に書き込むことができ、1000個のGCと2000個のVMB をサポートします。

本番稼働前に、シミュレーションで機能テストを行うことが可能です。

装置担当者が検出器プログラムを簡単に追加できるようガイダンス可能。

使用されるツールには、PLCプログラミングソフトウェア・製図ソフトウェア・BIM が含まれます。

デザイン事例