システム概要

化学薬品監視システム（CMS）は、半導体／パネル製造工場システムの中核を成すシステムです。プロセス安定性、作業員の安全、および環境規制遵守を確保するため、薬品の供給、濃度、圧力、温度、漏洩、流量をリアルタイムで監視、警報、および連動制御する役割を担っています。

場所：CDS（中央化学薬品供給）からCMD（分配キャビネット）を経て二次分注、機械操作に至るまでの全工程を網羅。

システム機能の概要

1. リアルタイムオンライン監視システムは、化学物質濃度、ガス濃度、温度、圧力、pH、液面レベルなどの主要なパラメータを24時間体制で継続的に監視します。

2. 多段階インテリジェントアラーム：基準値を超えると自動的に音と光、SMS、アプリでアラームを発し、早期警告、アラーム、緊急連携対応をサポートします。

3. データ取得と保存：過去のデータを自動的に収集して長期間保存し、トレンド曲線の表示と追跡をサポートします。

4. 自動レポート作成とコンプライアンス対応：環境保護、安全、システム監査の要件を満たすため、日次および月次の監視レポートとアラーム記録を生成します。

5. 遠隔監視および管理：コンピュータや携帯電話から遠隔で監視でき、複数の端末間での集中監視とリアルタイムの状態同期をサポートします。

6. 安全連動制御は、排気装置、遮断弁、スプリンクラーなどの機器と連動しており、異常が発生した場合に自動的に安全措置を実行します。

7. 漏洩および異常箇所の特定：漏洩、過熱、過圧などのリスクを迅速に特定し、異常箇所を特定します。

デザイン事例