中央化学薬品供給システム（CDS）/化学薬品ディスペンサー（CMD）から、中央化学薬品供給システム（CDS）とエンドポイントプロセス機器（CMP、エッチング、拡散装置など）間のエンドポイント精密供給ライン（IPL）に至るまで、これらのラインは、高純度/腐食性化学薬品を安全かつ不純物のない状態で、混合せずに使用箇所（POU）まで供給する役割を担っています。
l UM/UT機器インターフェース表を確認し、直径、圧力、流量が設計値と一致していることを確認してください。
l 資材到着確認：資材証明書、清浄度報告書、およびシール適合性証明書。
2. 建設プロセス管理
l クリーンルームでの建設：二次プレハブ加工はクリーンルーム内で完了し、その後密閉されてクリーンエリアに搬入されます。建設工具は専用で、油汚れが付着していない状態です。
l 溶接と接続：
l ステンレス鋼管：全自動トラック式アルゴンアーク溶接、アルゴン保護、酸化による変色なし。
l PFAパイプ：ホットメルト突合せ溶接、段差のない滑らかな溶接、気泡やスラグの混入を防止。
l 帯電防止および汚染防止対策：ステンレス鋼管と炭素鋼製支持部材の間にPTFE絶縁パッドを挿入し、配管が床や壁を貫通する箇所にはスリーブを取り付け、隙間を不燃性材料で充填する。
l 勾配設計：パイプラインは、自己排水を確保し、デッドコーナーをなくすために、1%以上の勾配を維持します。
デザイン事例
半導体ガス及び薬液供給システムに特化
工場施設管理と技術ソリューションを提供する国際的企業
