システム概要

中央薬品供給システム(CDS)/分配キャビネット(CMD)から、終端側の精密供給ライン(IPL)まで、CDSと終端側の>プロセス装置(CMP、エッチング装置、拡散炉)間の配管は、

高純度/腐食性の薬品を使用箇所(POU)まで安全かつ不純物や他薬品との混合なく供給する機能を担っています。

施工例

1.建設前確認

- UM/UT機器インターフェース表の確認。直径・圧力・流量の設計書との確認。

- 機材確認: 材料証明・洗浄報告・シール適合証明

2.建設工程監理

- 2次加工を実施。その後、シールされクリーンエリアへ搬入。

  専用工具を使用し、油汚れなどを防止。

- 溶接・接続:

 - ステンレス鋼管: 全自動軌道式アルゴンアーク溶接。アルゴン保護、酸化変色を防止

 - PFAパイプ: 熱溶着突き合わせ接続。段差のない滑らかな接続を実現。気泡やスラグの混入を防止。

 - 帯電・汚染防止: ステンレス鋼管と炭素鋼支持部材の間にはPTFE絶縁パッドを挿入。

  床や壁の貫通箇所にはスリーブを取り付け、隙間を不燃性材料で充填。

 - 勾配設計: 自己排水の確保とデッドコーナーの防止のため、パイプラインには1%以上の勾配を確保。

デザイン事例