システム構成:

薬品供給キャビネット/タンク → メインパイプライン → バルブボックス →  製造装置(使用箇所) 

ヒートトレース/断熱配管、窒素パージ配管、漏洩検出回路、排気ガス収集用配管

補助部材: フィルター、圧力調整弁、流量計、緊急遮断弁

使用材料（半導体グレード規格準拠)

- 高純度PFA/PTFEチューブ: 腐食に強く、沈殿物が少なく、粒子剥離もないため、薬品の主供給システムに適し

ます。

- SUS316L EP/BAステンレス鋼管: 電解研磨/熱処理品。鋼管内粗度 Ras0.5um、ガス/超純水用を使用。

- PVDFパイプ: 酸、アルカリ、高温に強くいため、廃液処理や化学処理に使用されるものです。

- 金属イオンによるウェハー汚染防止のため、銅・亜鉛その他の不純物となる金属は不使用。

デザイン事例：