システムコンポーネント：

薬品供給キャビネット/タンク → メイン移送パイプライン → バルブボックス → 機械使用終点

ヒートトレース／断熱配管、窒素パージ配管、漏洩検知回路、排気ガス収集配管

補助部品：フィルター、圧力調整弁、流量計、緊急遮断弁

配管材料の要件（半導体グレード規格）

l 高純度PFA/PTFEチューブ：強い腐食に強く、沈殿物が少なく、粒子剥離がなく、主流の医薬品溶液の送達に適しています。

l SUS316L EP/BAステンレス鋼管：電解研磨/光輝焼鈍処理済み、内壁粗さRa≤0.5μm、ガス/超純水用途。

l PVDFパイプ：酸やアルカリ、高温に強く、廃水処理や一部の化学処理によく使用されます。

l 金属イオンによるウェハー汚染を防ぐため、銅、亜鉛、その他の不純物金属の使用は厳禁とする。

デザイン事例：