メインシステム概要

高圧主電源システムは、高電圧送電網/外部変電所から供給された電力を、工場内の主変電所で降圧し、各工場>設備へ供給するもので、半導体工場の電力供給の基盤です。

* 電力の瞬停によるウェハー廃棄を防ぐため、N+1 または 2Nといった冗長性をもつ高い信頼性が要求されます>。

* 高い安定性、低い電圧変動、高調波の低減、頻繁なトリップがないことが求められます。

* NFPA/IEC規格に準じた、耐火・防爆・絶縁監視などの高い安全性も必要です。

* 将来のプロセスアップグレードなどの拡張性に対応して、物理的区画や電力容量の確保も求められます。

電力システムの導入においては、電力障害がクライアント様の工場のコスト・プロセスの効率・歩留まりに及ぼす影響を正しく把握しておかなければいけません。

そのため、信頼性が高く、かつ拡張性のある電力システムは強みの要因となります。

デザイン事例