メインシステム概要

高電圧主電源システムは、高電圧送電網／外部変電所から電力を供給され、工場エリア内の主変電所で降圧・配電された後、各工場内の変電所に送電されるものであり、半導体工場の電力供給の源泉であり基幹となる。

·  高い信頼性を確保するには、瞬間的な停電によるウェハーの廃棄を防ぐため、N+1または2Nの冗長性が必要となる。

·  高い安定性、低い電圧変動、低い高調波、そして頻繁なトリップがない。

·  高い安全性を備えた機能には、防火、防爆、絶縁監視などがあり、NFPA/IEC規格に準拠しています。

·  将来のプロセスアップグレードに対応できるよう、バスベイと変圧器の容量を確保することで、拡張の可能性を秘めている。

電力システムの導入においては、電力障害が工場のコスト、プロセス効率、および生産量に及ぼす重大な影響を考慮する必要があります。したがって、信頼性が高く柔軟な電力供給は、工場の差別化要因の一つとなります。

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