システム概要

特殊ガス供給ステーション（ガスボンベ収納庫／マニホールド／タンクエリア）と作業場内のVMB／VMPバルブ分配ボックスを結ぶ主要パイプラインは、特殊ガスシステム全体の「主要動脈」である。

実装要件

·  完全自動化されたレール溶接、全工程におけるアルゴンガスによる保護、酸化による変色なし。

·  高圧試験および耐圧試験

·  ヘリウム質量分析法による漏洩検出の結果、全体的な漏洩率は極めて低いことが明らかになった。

·  粒子、水分、酸素含有量に関する要件を満たすため、高純度窒素／不活性ガスによるパージ処理を実施する。

·  パイプラインの経路は標準化されており、支持構造、固定具、静電気防止接地もすべて設置済みです。

デザイン事例