システム概要

特殊ガス供給ステーション（ガスボンベ収納庫/マニホールド/タンク）と現場の ガスボックス/ガスパネル(VMB/VMP)は主系統のパイプラインで接続されます。これは、特殊ガス供給システムの「主動脈」と言えます。

実装要件

・全自動軌道溶接　全行程でアルゴンパージ保護を実施・酸化変色なし

・耐圧試験および気密試験

・ヘリウム質量分析による漏洩検査　全体的に漏洩が極めて低いことを確認

・高純度窒素/不活性ガスによるパージ実施　パーティクル/水蒸気/酸素含有の要件確保

・パイプライン経路の標準化　支持構造・固定具・静電気防止用接地実施済

デザイン事例