システム概要

特殊ガス二次配管（フックアップとも呼ばれます）は、ガス供給終端側の精密配管のことです。現場の一次配管システム(VMB/VMP)から終端にある各種プロセス装置（エッチング装置・CVD装置など）までを接続します。

- 超高純度供給:  不純物や汚染物を含まない、99.9999%(6N)の以上のガス純度を保証

- 精密流量・圧力制御:  「変動は歩留まりに直結する」という半導体製造プロセスの厳しい要件に適合

- 安全保護:  漏洩防止、防爆、緊急遮断(ESD)システム

- クリーンルーム対応: クラス100/1000 のクリーンルームでの施工実施

工事のキーポイント

- 溶接:  全自動アルゴン軌道溶接(継ぎ目なし・酸化変色なし)

- 洗浄処理:  脱脂、酸洗、パッシベーション処理、高純度窒素パージ

- 検出:

・ヘリウム漏洩検査:  

・パイプライン経路の標準化　支持構造・固定具・静電気防止用接地実施済

デザイン事例