システム概要

特殊ガス二次配管（接続配管とも呼ばれる）とは、サプライチェーンの末端にある精密配管を指し、作業場の主配管システム（VMB/VMP）から末端のプロセス機器（エッチング装置やCVD装置など）まで配管するものです。

l 超高純度供給：不純物や汚染物質を含まない、99.9999%（6N）以上のガス純度を保証します。

l 精密な流量・圧力制御：変動が歩留まり損失につながる半導体製造プロセスの厳しい要件を満たします。

l 安全保護：漏洩防止、爆発防止、緊急遮断（ESD）。

l クリーンルームへの対応：建設工事はクラス100/1000のクリーンルームで行われます。

建設および検収に関する重要事項

l 溶接：完全自動化されたレール用アルゴンアーク溶接（溶接継ぎ目なし、酸化なし）

l 洗浄処理：脱脂、酸洗、不動態化処理、および高純度窒素によるパージ。

l 検出：

l ヘリウム漏れ検知：システム全体の漏れ率は基準を満たしています

l 粒子／水分検査：不純物が存在しないことを確認します。

デザイン事例