GC全自動特殊ガスホルダー

仕様：全自動、自動切替、自動パージ。

標準装備：自動切替、防爆・耐腐食性キャビネット。

外部パージ：PN2、1/4MVCRインターフェース。

防爆セルフロックドア、防爆ガラス観察窓、漏洩警報。

真空：GN2、1/4MVCRインターフェース。

遠隔遮断、低電圧警報、主要材質SS316L。

空気圧ダイヤフラムバルブ：1/4圧縮継手インターフェース。

操作インターフェース：PLC制御、10インチカラータッチスクリーン。

ベント：ベントパイプ：1/2MVCRインターフェース。

オプション装備：プロセスガス過圧警報、パネル加熱・温度制御装置。

真空発生器、高圧・低圧ベント。

警報信号SMSおよび電話通知。

パネルサイズ：1/4パネル。

VMBバルブ分配ボックス

仕様：取入1口、取出口複数。

VLNTベントパイプ：1/2MVCRインターフェース。

プロセスガス：取入1口、取出N口(N=2～9)。

パネルサイズ：1/4インチ～1インチパネル。

標準装備：防爆・耐腐食性キャビネット、防爆セルフロックドア、

防爆ガラス観察窓、漏洩警報装置、主要材質：55315L。

オプション装備：外部パージ、真空引き、プロセスガス過圧警報装置、

パネル加熱・湿度制御装置、SMSおよび電話による警報信号通知。