GC全自動特殊ガスホルダー
仕様：全自動、自動切替、自動パージ。
標準装備：自動切替、防爆・耐腐食性キャビネット。
外部パージ：PN2、1/4MVCRインターフェース。
防爆セルフロックドア、防爆ガラス観察窓、漏洩警報。
真空：GN2、1/4MVCRインターフェース。
遠隔遮断、低電圧警報、主要材質SS316L。
空気圧ダイヤフラムバルブ：1/4圧縮継手インターフェース。
操作インターフェース：PLC制御、10インチカラータッチスクリーン。
ベント：ベントパイプ：1/2MVCRインターフェース。
オプション装備：プロセスガス過圧警報、パネル加熱・温度制御装置。
真空発生器、高圧・低圧ベント。
警報信号SMSおよび電話通知。
パネルサイズ：1/4パネル。
高流量特殊ガス供給装置（BSGS）
制御盤電源：制御電源 220VAC 50Hz 500V；パネル電源 220VAC 50Hz 1GKV；
真空吸引：GN2、V4MVCRインターフェース
排気管：1/Z MVRコネクタC
標準機能：自動切替、自動パージ、防爆・耐魔法構造。反射防止自動施錠ドア、防爆ガラス観察窓。
VMBバルブ分配ボックス
仕様：入口1箇所、出口複数箇所。
VLNTベントパイプ：1/2MVCRインターフェース。
プロセスガス：入口1箇所、出口N箇所（N=2～9）。
パネルサイズ：1/4インチ～1インチパネル。
標準装備：防爆・耐腐食性キャビネット、防爆セルフロックドア、
防爆ガラス観察窓、漏洩警報装置、主要材質：55315L。
オプション装備：外部パージ、真空引き、プロセスガス過圧警報装置、
パネル加熱・湿度制御装置、SMSおよび電話による警報信号通知。
VMPバルブ分配パネル
パネル取り付け一体型構造で設置が容易です。
主要材質はSS316Lステンレス鋼で、実験室用ガスに最適です。
金属ダイヤフラム式減圧構造。
硬質シール構造により、材質の劣化や汚染を防ぎます。
非危険ガスに適しています。
ダイヤフラムバルブ制御、シンプルな流路、信頼性の高い動作、長寿命。
減圧弁および配管は、耐圧試験および漏洩試験を実施済みです。
すべてのダイヤフラムバルブノブには、開閉状態を示す表示窓が付いています。
半導体ガス及び薬液供給システムに特化
工場施設管理と技術ソリューションを提供する国際的企業
